“伯恩,太好了。
这样,我们的麒麟研究院就拥有了全世界光刻机领域中最顶尖的技术了。
以后,我们的这项技术,就可以命名为浸没式光刻技术。”
随即,季宇宁赶到了沙田麒麟研究院那巨大的光刻机研发基地。
他又再一次亲眼目睹了这个划时代的芯片工业中的光刻技术。
这是他的麒麟研究院拥有的芯片产业中最顶尖的一项技术。
也是他几乎同步复制的上一世的一项关键技术。
90年代末的时候,光刻技术的极限波长为157nm,成为全球光学专家难以逾越的鸿沟。
当时,刚刚在2000年下半年加入海峡对岸的那个全世界最大的芯片代工厂的林本坚,没有气馁,他开始尝试逆向思维,探索能否在193nm波长的基础上,通过加入介质的方式实现更短的波长。
经过无数次的实验和计算,林本坚终于发现,在透镜和晶圆之间加入水,可以将193nm的波长经水折射后缩短至134nm。
这项突破性的技术,被命名为浸没式光刻技术,正是后来EUV光刻机所采用的技术。